本发明公开了一种焦距测量和焦面位置校准的装置、系统及方法,该系统包括装置及热真空试验设备,装置包括:激光测距装置、分束镜、目标靶板、照明光源、电控平移台、驱动控制器和控制器。当进行焦距测量和焦面位置校准时,利用激光测距技术和等光程分光手段,在模拟太空的低温和低气压条件下,实时对牛顿式反射式准直系统的焦距进行测量,并计算得到相对应的目标焦面位置,根据当前焦面位置和目标焦面位置的差值计算得到电控平移台的移动距离,并通过数据接口将移动距离作为驱动指令发送至驱动控制器,通过驱动控制器控制电控平移,在牛顿式反射式准直系统的焦面移动至目标焦面位置,实现对当前焦面位置的校准。