本实用新型涉及一种具有蓄冷/蓄热功能的温控装置,它包括制冷系统、热通道循环液系统和冷通道循环液系统;冷凝器换热之后的热量由蓄热介质吸收存储,蒸发器蒸发之后的冷量由蓄冷介质吸收存储;热通道循环液系统输入
申请(专利权)人:北京自动化技术研究院
本实用新型涉及一种硅片预对准装置,包括水平顶板,垂直设置在顶板一端的转轴,卡装在转轴顶端的吸盘,转动连接于转轴另一端的转轴电机,卡装在转轴上且位于吸盘下方的下托架,设置在下托架边缘的伸出爪,转动连接在
申请(专利权)人:北京自动化技术研究院
本实用新型涉及一种晶圆传输机械手测试装置,其特征在于:它包括一支架、一测试手叉、一类晶圆震动感应器和控制系统;支架包括一立柱,立柱上横向连接有一上连接杆和一下连接杆,上连接杆上设置一位移传感器,下连接
申请(专利权)人:北京自动化技术研究院
本实用新型涉及一种硅片传送装置,其特征在于:它包括水平驱动机构,垂直驱动机构、旋转驱动机构、机械手叉、预对准机构和控制系统;旋转驱动机构和机械手叉在垂直驱动机构的带动下沿竖直方向移动;机械手叉在旋转驱
申请(专利权)人:北京自动化技术研究院
本发明涉及一种硅片传送装置,其特征在于:它包括水平驱动机构,垂直驱动机构、旋转驱动机构、机械手叉、预对准机构和控制系统;旋转驱动机构和机械手叉在垂直驱动机构的带动下沿竖直方向移动;机械手叉在旋转驱动机
申请(专利权)人:北京自动化技术研究院
本实用新型公开了一种生态停车场,其包括从下至上依次设置的基础、反滤层、排水层、隔离层、滤水层和植草砖;所述排水层内部设置有排水管,所述植草砖中间的孔内填充有腐殖土。本实用新型的生态停车场,通过设计透水
申请(专利权)人:北京清控人居环境研究院有限公司
本发明提供了一种超声波液位测量方法,包括下列步骤:控制装置控制超声波传感器向液面发送固定频率的超声波探测信号,超声波探测信号在接触液面后,向超声波传感器反弹回超声波回传信号;控制装置实时采集接收的超声
申请(专利权)人:北京清控人居环境研究院有限公司
本发明涉及一种温控设备的冷却控制系统,包括厂务水供水设备(1)和板式换热器(4),厂务水供水设备(1)和板式换热器(4)之间设有厂务水供水管(2)和厂务水回水管(5),其特征在于:至少在厂务水供水管(
申请(专利权)人:北京自动化技术研究院
本发明涉及一种晶圆传输机械手测试装置,其特征在于:它包括一支架、一测试手叉、一类晶圆震动感应器和控制系统;支架包括一立柱,立柱上横向连接有一上连接杆和一下连接杆,上连接杆上设置一位移传感器,下连接杆上
申请(专利权)人:北京自动化技术研究院
本发明涉及一种硅片传送装置,其特征在于:它包括水平驱动机构,垂直驱动机构、旋转驱动机构、机械手叉、预对准机构和控制系统;旋转驱动机构和机械手叉在垂直驱动机构的带动下沿竖直方向移动;机械手叉在旋转驱动机
申请(专利权)人:北京自动化技术研究院
本发明提供了一种超声波液位测量方法,包括下列步骤:控制装置控制超声波传感器向液面发送固定频率的超声波探测信号,超声波探测信号在接触液面后,向超声波传感器反弹回超声波回传信号;控制装置实时采集接收的超声
申请(专利权)人:北京清控人居环境研究院有限公司
本发明公开了一种排水管网监测点的自动识别方法,包括:收集信息建立目标区域的排水管网模型,设置多种情景模拟得到各情景下所有节点监测指标对应的状态曲线,对节点进行初步分组;计算节点状态曲线间相关性,加权平
申请(专利权)人:清华大学,北京清控人居环境研究院有限公司