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一种用于ITO靶材清洗烘干装置

  • 申请号:CN201920951199.4 申请公布号: CN210754111U
  • 申请日: 2019-06-21 申请公布日: 2020-06-16
  • 申请(专利权)人:中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司,广东凯盛光伏技术研究院有限公司 专利代理机构: 广州嘉权专利商标事务所有限公司
  • 分类号:B08B13/00;B08B3/12;F26B23/06;F26B9/06

专利介绍

本实用新型公开了一种用于ITO靶材清洗烘干装置,本清洗烘干装置使用时,将载有ITO靶材的架子放置于水槽中,通过纯水水喉将纯水通入水槽内,启动超声振子开始清洗,清洗完成后,通过排水管将水槽内的水排尽,开启电阻加热棒进行烘干;使ITO靶材一次完成清洗烘干,消除ITO靶材在清洗干燥过程中因转移碰撞造成的残次品;省去数个水槽,缩小设备占用空间,节省设备成本,简化工艺流程,提高效率。
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