本实用新型公开了一种用于ITO靶材冷压固定装置，包括用于将ITO靶材上下夹紧的固定板，所述固定板侧边设有固定凹槽，所述固定板上均匀排布有透压圆孔；在使用时将两块采用PVC材料的固定板分别放置于已密封包装好的ITO靶材的上方和下方，然后用皮筋夹紧夹稳，使其连成一体；再将其一齐放入冷压缸中加纯水进行冷压，透压圆孔在让冷压过程中，使水可以自由均匀地从固定板中穿过，进而将压力均匀地传递到待压ITO靶材，从而不影响冷压的效果；可使靶材结构完整性得到了很好的保护，外观上没有明显裂纹，靶材亦未出现进水现象；可大大地提高ITO靶材加工后结构的完整性，为进一步的加工带来更大的便利。
