本发明涉及的一种具有氢退火TCO导电膜的异质结电池结构及其制备方法，它包括硅衬底（1），所述硅衬底（1）的双面均设有非晶硅本征层（2），所述非晶硅本征层（2）的外侧均设有非晶硅掺杂层（3），所述非晶硅掺杂层（3）的外侧均设有TCO导电膜（4）；其特征在于：所述TCO导电膜（4）外侧经氢退火处理形成退火层（6），所述退火层（6）的外侧均设有若干Ag电极（5）。本发明可以有效解决低温制备TCO薄膜的透过率与电导率相矛盾的问题，使TCO导电膜获得较优的透过率及电导率，从而提升HJT太阳能电池的光电性能。
