本发明涉及一种高效晶硅异质结太阳能电池硅片清洗装置及方法，包括溢流槽、上下设置的上槽和下槽，所述上槽的下部设有进液管和进气管，顶部设有纯水喷淋，纯水进入溢流管路和喷淋管路，氮气进入氮气管路，所述氮气管路与进气管连接，所述溢流管路与进液管连接，所述喷淋管路与纯水喷淋连接，所述下槽内设有快排气缸，所述快排气缸的活塞杆连接快排盖，所述上槽对应快排盖设有快排口。本发明水洗分为纯水溢流和喷淋两步，使硅片最后接触的水是干净的新纯水，解决HJT电池中硅片表面清洗不干净的问题，提高HJT太阳能电池的光电转换效率，同时稳定的工艺更适合运用于量产。
