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具有氢退火TCO导电膜的异质结电池结构

  • 申请号：CN201921303882.3 申请公布号： CN210156405U
  • 申请日： 2019-08-13 申请公布日： 2020-03-17
  • 申请（专利权）人：江苏爱康能源研究院有限公司 专利代理机构： 江阴市扬子专利代理事务所（普通合伙）
  • 分类号：H01L31/0216；H01L31/072；H01L31/18

专利介绍

本实用涉及的一种具有氢退火TCO导电膜的异质结电池结构，它包括硅衬底（1），所述硅衬底（1）的双面均设有非晶硅本征层（2），所述非晶硅本征层（2）的外侧均设有非晶硅掺杂层（3），所述非晶硅掺杂层（3）的外侧均设有TCO导电膜（4）；其特征在于：所述TCO导电膜（4）外侧经氢退火处理形成退火层（6），所述退火层（6）的外侧均设有若干Ag电极（5）。本实用可以有效解决低温制备TCO薄膜的透过率与电导率相矛盾的问题，使TCO导电膜获得较优的透过率及电导率，从而提升HJT太阳能电池的光电性能。

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