本实用新型涉及的一种渐变叠层TCO导电膜的异质结电池结构，它包括硅衬底，所述硅衬底的双面均设有非晶硅本征层，所述非晶硅本征层的外侧设有非晶硅掺杂层；所述硅衬底受光面的非晶硅掺杂层的外侧设有叠层TCO导电膜，所述硅衬底非受光面的非晶硅掺杂层的外侧设有单层TCO导电膜；所述叠层TCO导电膜和单层TCO导电膜的外侧均设有若干Ag电极；所述叠层TCO导电膜包括依次向外设置的多层TCO导电膜，每一层的靶材功率密度逐层增加，靠近非晶硅掺杂层的第一层靶位TCO导电膜不通氧气，其他每一层的O2/功率逐层增加。本实用新型低高能粒子对非晶硅薄膜的撞击损伤，能够获得最优的TCO光学、电学性能，提升异质结太阳能电池性能。
