本发明涉及一种氧化铌靶材及其制备方法，包括以下步骤：将五氧化二铌粉和铌粉混合均匀，在氧气氛围或空气氛围下于600～800℃煅烧0.5～3h，得到预处理粉体；将预处理粉体在保护气体氛围下于900～1200℃在石墨模具中热压烧结0.5～1h，得到氧化铌靶材，氧化铌靶材的化学式为Nb2Ox，4.0≤x≤4.9。如此，将五氧化二铌粉和铌粉混合均匀后进行氧化性煅烧处理，铌粉表面氧化形成活性氧化膜阻隔，从而起到分散五氧化二铌粉的作用，避免五氧化二铌粉出现局部烧结导致团聚现象，得到的预处理粉体流动性好且粒度分布集中。五氧化二铌粉体比表面积高、活性大，且粒径小，进而降低了热压烧结的温度和减少热压烧结的时间，从而降低热压烧结的能耗和成本，而且还有效地提高了氧化铌靶材的致密化程度。
