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一种二维阶梯中性密度滤光片

  • 申请号:CN201922259366.1 申请公布号: CN210894762U
  • 申请日: 2019-12-17 申请公布日: 2020-06-30
  • 申请(专利权)人:沈阳仪表科学研究院有限公司 专利代理机构: 沈阳亚泰专利商标代理有限公司
  • 分类号:G02B5/20

专利介绍

本实用新型属光能衰减光学元件领域,尤其涉及一种高集成化光路中使用的二维阶梯中性密度滤光片,包括玻璃基底(1)及二维阶梯膜层(2);所述二维阶梯膜层(2)镀制于玻璃基底(1)之上;所述二维阶梯膜层(2)由呈网格状分布的二维阶梯单元膜层(201)组成。本实用新型在玻璃基底上采用PVD方式镀制的二维阶梯网格中性密度片,把密度值或者透射率分布到二维阶梯网格内,增加了产品的空间利用率,可在高集成化光路中使用。