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专利详情
一种二维阶梯中性密度滤光片
申请号:
CN201922259366.1
申请公布号:
CN210894762U
申请日:
2019-12-17
申请公布日:
2020-06-30
申请(专利权)人:
沈阳仪表科学研究院有限公司
专利代理机构:
沈阳亚泰专利商标代理有限公司
分类号:
G02B5/20
专利介绍
本实用新型属光能衰减光学元件领域,尤其涉及一种高集成化光路中使用的二维阶梯中性密度滤光片,包括玻璃基底(1)及二维阶梯膜层(2);所述二维阶梯膜层(2)镀制于玻璃基底(1)之上;所述二维阶梯膜层(2)由呈网格状分布的二维阶梯单元膜层(201)组成。本实用新型在玻璃基底上采用PVD方式镀制的二维阶梯网格中性密度片,把密度值或者透射率分布到二维阶梯网格内,增加了产品的空间利用率,可在高集成化光路中使用。
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