本发明提供一种制备低残余热应力非晶合金的工艺方法,包括:步骤S1,选取基准合金,采用以与金属元素形成低熔点合金的非金属元素部分替代与金属元素形成高熔点合金的非金属元素的方式形成成分不同的系列合金,并测量其在不同浇铸温度的粘度,建立粘度‑浇铸温度‑成分的关系;步骤S2,针对该系列合金熔体在不同浇铸温度下,测量不同冷却条件下的凝固温度,建立冷却条件‑凝固温度‑浇铸温度‑成分的关系;步骤S3,首先,根据步骤S1得到的关系,选择低粘度的合金成分并根据粘度标准设定浇铸温度;然后,根据选择的合金成分、设定的浇铸温度以及步骤S2得到的关系,选择过冷凝固温度提高所对应的冷却条件;最终,制得非晶合金。