本实用新型公开了一种集光催化、真空紫外光及臭氧氧化为一体的深度水处理装置，包括依次通过管路连接成循环回路的光催化真空紫外反应器、气液混合器、水箱和水泵；其中光催化真空紫外反应器由筒体、安装在筒体内的真空紫外灯、安装在真空紫外灯外的螺旋式反应管组成，螺旋式反应管内填充载体型光催化剂，光催化真空紫外反应器的上部分别设置有出气孔及出水孔，下部分别设置有进气孔、进水孔，且出水孔、进水孔通过管路分别连接螺旋式反应管的两端，出气孔通过管路连接气液混合器，进气孔通过管路连接水箱和水泵。本实用新型实现臭氧氧化与光催化、真空紫外光氧化作用的协同，既降低能耗，又节约成本，同时提高了深度水处理效果。
