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一种基于虚拟仪器的朗缪尔探针等离子体诊断方法

申请号：CN200610134481.0 申请公布号： CN100508102C
申请日： 2006-12-01 申请公布日： 2009-07-01
申请（专利权）人：大连理工营口研究院有限公司 专利代理机构： 大连理工大学专利中心
分类号：G01T1/29；H01J37/244；G01R19/00

专利介绍

本发明涉及到一种基于虚拟仪器的朗缪尔探针等离子体诊断方法，用于诊断等离子体的空间电位、电荷密度、电子温度等参数。其特征是使用“准直流”探针偏置信号代替常规的锯齿波扫描偏置信号，利用虚拟仪器代替常规的扫描信号发生器生成探针偏置信号并对探针的电压、电流信号进行采集和分析计算。本发明的效果和益处是不需要电流与电压信号采集同步，降低了对数据采集卡的要求；可通过多次采集提高数据的信噪比；更重要的是可以通过灵活地变更采样率克服等离子体波动的干扰，从而能够对波动的等离子体进行诊断。

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