本发明涉及一种压电式MEMS喷墨打印头及制作方法，采用SOI硅片作为振动板及喷嘴板的加工原料；将打印头的压力腔、引流孔及喷嘴孔结构全部集成设计在喷嘴板上；并在压力腔制作前就制作了金属薄膜层，利用该金属薄膜层作为ICP干法刻蚀压力腔的掩蔽层；另外，该掩蔽层在后期振动板与喷嘴板的键合时又作为键合金属层。本发明的压电式MEMS喷墨打印头制作方法与现有的MEMS喷墨打印头的制作方法相比总体工艺步骤更少，涉及工艺种类更少，尺寸精度更高、效率也更高，解决了现有压电式MEMS喷墨打印头制作方法涉及的工艺种类较多、振动板质量难以得到保证及键合所产生的潜在风险大的技术问题。
