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一种系统级MEMS双载体芯片封装件

  • 申请号:CN201520355293.5 申请公布号: CN204696104U
  • 申请日: 2015-05-28 申请公布日: 2015-10-07
  • 申请(专利权)人:甘肃微电子工程研究院有限公司,天水华天科技股份有限公司 专利代理机构: 甘肃省知识产权事务中心
  • 分类号:H01L23/495;B81B7/02;H01L21/60;B81C3/00

专利介绍

一种系统级MEMS双载体芯片封装件,包括两个载体,两个载体相邻的侧壁均有凹坑和凸台,一个载体上有芯片和陶瓷电容,另一个载体上有芯片和陶瓷电阻,载体侧壁上设有载体连筋,所有器件上的焊盘分别与其它焊盘和内引脚相连接,且形成一一连接,所有键合线不交叉,内引脚接外引脚,除外引脚外的其余器件均封装于塑封体内。该封装件以铜合金引线框架作为承载体材料,无源元件采用微细熔覆的厚膜电阻;根据需要定制陶瓷电阻和电容,激光划片后,可如同芯片一样通过粘片胶或胶膜片粘接在引线框架载体上,通过焊线实现互连,是一种较低成本的系统级封装,满足小型化、多功能、高密度集成的SiP型MEMS封装的需要。
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