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一种系统级MEMS单载体芯片封装件

  • 申请号:CN201520585199.9 申请公布号: CN204958379U
  • 申请日: 2015-08-06 申请公布日: 2016-01-13
  • 申请(专利权)人:天水华天科技股份有限公司,甘肃微电子工程研究院有限公司 专利代理机构: 甘肃省知识产权事务中心
  • 分类号:B81B7/00

专利介绍

本实用新型提供了一种系统级单载体MEMS封装件,包括通过连接筋连接引线框架的载体,连接筋与载体连接处有锁胶孔;载体另外两个侧壁由凸台和凹坑组成对称锯齿形侧壁;载体上粘贴有MEMS芯片、ASIC芯片、VGA放大器芯片、Flash芯片、陶瓷厚膜电阻和陶瓷厚膜电容;各器件通过键合线分别与其它器件和内引脚相连,且形成一一对应连接,载体上塑封有塑封体,所有的器件和键合线均塑封于塑封体内,内引脚与位于塑封体外的外引脚相连接。该系统级单载体MEMS封装件是一种较低成本的系统级封装,满足小型化、多功能、高密度集成的SiP型单载体MEMS封装件。
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