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普通车床主轴变速箱内的停车结构

椭圆

申请号：CN201910644012.0 申请公布号： CN110873553A
申请日： 2019-07-17 申请公布日： 2020-03-10
申请（专利权）人：台湾积体电路制造股份有限公司 专利代理机构：
分类号：G01B11/06

专利介绍

本发明实施例涉及椭圆偏振仪及估计膜厚度的方法。本发明实施例涉及一种椭圆偏振仪，其包括光源、偏振器、非对称波长延迟器、分析仪及光学检测组件。所述光源经配置以提供入射到样本的具有多个波长的光束。所述偏振器安置于所述光源与所述样本之间，且经配置以使所述光束偏振。所述非对称波长延迟器经配置以提供对波长可变的所述光束的可变延迟效果。所述分析仪经配置以分析由所述样本反射的所述光束的偏振状态。所述光学检测组件经配置以检测来自所述分析仪的所述光束。

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