学习经历

1989年－1993年，东南大学，机械工程学院，本科/学士

1993年－1996年，东南大学，机械工程学院，研究生/硕士

1998年－2002年，东南大学，机械工程学院，研究生/博士

工作经历

2010年－现在，东南大学 教授、博士生导师

2005年－2007年，日本 名古屋大学(Nagoya University)微纳系统工程系 博士后研究

1996年－2009年，东南大学 副教授、讲师、助教、硕士生导师

2000年－2000年, 加拿大 Concordia大学访问学者

教授课程

算法语言与程序设计

计算机辅助设计

现代制造系统

研究方向

1. 微纳系统制造工艺

2. 微纳系统设计与模拟 MEMS CAD

3. 航空钣金模具设计、制造成形分析优化

4. 智能制造

获奖情况

江苏省“333”高层次人才培养工程

江苏省“六大人才高峰”高层次人才

江苏省科技进步奖一等奖（7）

江苏省科技进步奖二等奖（3）

东南大学教学工作优秀一等奖

论文著作

[1] Yuan Li, M   A. Gosálvez, Y Xing Particle Swarm   Optimization-based Continuous Cellular Automaton for the simulation of Deep   Reactive Ion Etching Journal of   Micromechanics and microengineering. , 2015.  SCI

[2] P  Pal, A Ashok, Y Xing. Anisotropic   Etching in Low Concentration KOH: Effects of Surfactant Concentration. Micro & Nano Letters. 2015.  SCI

[3] P   Pal, S Haldar, S Singh, A Ashok, Y   Xing. A detailed investigation and explanation of the appearance of   different undercut profles in KOH and TMAH. Journal of Micromechanics and microengineering. , 2014, V24(7)   095026 .  SCI

[4] P   Pal, M A Gosalvez, K Sato, Y Xing.   Anisotropic etching on Si{110}: experiment and simulation for the formation   of microstructures with convex corners. Journal   of Micromechanics and microengineering. 2014. 24(10) 125001  SCI

[5] Jun Ni, WC   Tang, Y. Xing. A Simple Algebra   for Fault Tree Analysis of Static and Dynamic Systems.  IEEE   Transactions on Reliability, 2013, v62(4) 846-860. SCI

[6] Jun   Ni, WC Tang, Y. Xing.   Three-dimensional Precision Analysis with Rigid and Compliant Motions for   Sheet Metal Assembly, International Journal   of Advanced Manufacturing Technology, 2014. 72(11). SCI

[7]Y. Xing, M. A. Gosalvez, and K. Sato.   Evolutionary determination of Kinetic Monte Carlo rates for the simulation of   evolving surfaces in anisotropic etching of silicon Journal of Micromechanics and microengineering. , 2012, V22(8)   085020-085030.  SCI

[8]M. A. Gosalvez, N Ferrando, Y. Xing. Simulating anisotropic   etching of silicon in any etchant: evolutionary algorithm for the calibration   of the continuous cellular automaton. Journal   of Micromechanics and microengineering. , 2011, V21(4) 065017-065027. SCI

[9]   Y. Xing, M. A. Gosalvez, and K. Sato, A Genetic   Algorithm Based Kinetic Monte Carlo Simulatoin for the Evolution of Complex   Surface In Anisotropic Etching  2011, IEEE Solid-State Sensors, Actuators and   Microsystems IEEE Transducers. P 374-378

[10]   Y. Xing, M. A. Gosalvez, and K. Sato,   Orientation-dependent surface morphology of crystalline silicon during   anisotropic etching using a continuous cellular automaton, Journal of Micromechanics and   microengineering. , 2010, V20(4) 015019-015029. SCI

[11]   Y. Xing, M. A. Gosalvez, and K. Sato, Step flow based   Cellular Automaton for the simulation of anisotropic etching of complex MEMS   structures,2007,  New Journal of Physics, Vol 9(12):436-454.   SCI

[12]M. A. Gosalvez, Y. Xing, and K. Sato, Discrete and continuous cellular automata   for the simulation of propagating surfaces. Sensor and Actuators: Physical A:, 2009, V155, p98-112  SCI

[13]M. A. Gosalvez, Y. Xing, and K. Sato, Octree-Search Kinetic Monte Carlo. Sensor and Actuators: Physical A:,   2010, 156(3) 64-68.  SCI

[14]M. A. Gosalvez, Y. Xing, and K. Sato, Atomistic method for the simulation of   evolving surfaces, Journal of   Micromechanics and microengineering. 2008, V18(4)  0550290-0550306  . SCI

[15] M. A. Gosalvez, Y. Xing, and K. Sato, Analytical solution of the Continuous   Cellular Automaton for anisotropic etching, IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical System. 2008, V17(2)   410-431  SCI

[16] M. A. Gosalvez, Y. Xing, T. Hynninen, M. Uwaha, A. S. Foster, R. M. Nieminen,   and, K. Sato, Faster simulations of step bunching during anisotropic etching:   formation of zigzag structures on Si(110),   Journal of Micromechanics and Microengineering. 17 (2007) S27–S37.  SCI

[17] Zhiyong Tan, Mitsuhiro Shikida, Masafumi   Hirota, Yan Xing, Kazuo Sato.   Characteristics of on-wall in-tube flexible thermal flow sensor under   radially asymmetric flow condition. Sensor   and Actuators: Physical A:, 2007, V138, p87-96. SCI

[18] 幸研朱鹏易红汤文成,蒙特卡罗法单晶硅的腐蚀工艺表面微观形态仿真研究 2008, 半导体学报2010   V29(10) 2027-2031 EI.

[19] 幸研朱鹏多次掩模湿法腐蚀硅微加工过程的蒙特卡罗仿真       2009机械工程学报   v45(1) 240-245  EI

[20] 王树桥，幸研，仇晓黎, 齐建昌.   混合进化算法的Metropolis蒙特卡罗MEMS单晶硅湿法刻蚀工艺模型，2012机械工程学报   v48(1) 240-245  EI

科研项目

项目名称

项目类别

项目时间

工作类别

项目金额

总装“十二五”基础研究项目(航空钣金制造)

总装国防基础科研

2011-2015

承担

100万

聚焦离子束气体辅助刻蚀工艺机理与界面演化模拟方法研究

国家自然科学基金

2014-2017

承担

80万

适形各向异性湿法腐蚀工艺中表面活性剂的吸附机制与模型研究

国家自然科学基金

2010-2013

承担

36万

MEMS   多物理场耦合分析设计平台及应用产品开发与产业化

江苏省科技厅，成果转化项目

2009-2011

承担

35万

硅微湿法腐蚀MEMS工艺表面质量与微观形貌的计算模型

教育部留学归国人员基金

2009-2010

承担

3万

MEMS   湿法刻蚀工艺八叉树搜索动力学蒙特卡罗法仿真研究

江苏省自然科学基金

2008-2011

承担

10万

MEMS工艺平台研究

江苏省六大人才高峰

2011-2012

承担

6万

总装“十二五”基础研究项目(薄壁件装配)

总装国防基础科研

2011-2015

参与

180万

科工局“十一五”基础科研项目（电子装备设计制造集成）

科工局国防基础科研

2008-2011

参与

210万

基于数字化全科诊断的健康云服务平台关键技术研究

江苏省科技厅

2014-2017

参与

25万

基于皮米分辨透射电镜的5纳米以下三维纳通道跨尺度集成

科技部

2011-2015

参与

350万